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微波放电氢等离子体的特性诊断和分析
THE CHARACTERISTIC ANALYSIS AND DIAGNOSIS OF HYDROGE PLASMA UNDER MICROWAVE DISCHARGE
【摘要】 在微波等离子化学气相沉积装置中,分析了反应室内等离子密度空间分布以及等离子密度与气压和功率的关系,还分析了Hα(656.3 nm)的峰值强度与气压和功率的关系,得到了微波放电氢等离子体内部的基本特性.
【Abstract】 The density distribution and the relationship between the plasma density with different pressure and power were obtained in a microwave plasma vapor deposition reactor.The relationship between the intensity of Hα(656.3 nm)peak with different pressure and power were also analyzed.Thus the basic characteristic of hydrogen plasma under microwave discharge was gained.
【关键词】 Langmuir探针；
等离子体密度；
发射光谱；
Hα；
【Key words】 langmuir probe； plasma parameter； emission spectrum； Hα；
【Key words】 langmuir probe； plasma parameter； emission spectrum； Hα；
【基金】 国家自然科学基金资助项目(10575039);教育部高等学校博士学科点专项科研资助项目(20040574008);广东省自然科学基金重点资助项目(05100534)
- 【文献出处】 华南师范大学学报(自然科学版) ,Journal of South China Normal University(Natural Science Edition) , 编辑部邮箱 ,2008年03期
- 【分类号】TL65
- 【被引频次】8
- 【下载频次】230