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复合离子镀膜技术制备Cr+Ti+TiNC/TiNC+C/DLC膜性能研究

Properties of Cr+Ti+TiNC/TiNC+C/DLC films prepared by composite ion plating

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【Author】 MA Shengge1 YU Dayang2 YANG Hongwei1 ZHANG Yichen2 1 (National Research and Development Center for Surface Engineering of Shenzhen, Shenzhen 518029, China) 2 (School of Mechanical Engineering and Automation, Northeastern University, Shenyang 110004, China)

【机构】深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心；东北大学机械工程及自动化学院；东北大学机械工程及自动化学院深圳518029；沈阳110004；深圳518029；

【摘要】结合中频孪生靶非平衡磁控溅射、电弧离子镀和霍尔离子源辅助沉积三种工艺,制备了Cr+Ti+TiNC/TiNC+C/DLC硬质膜。硬质膜呈深黑色,表面比较光滑,顶层为掺N的类金刚石(Diamond-like Carbon,DLC)膜,中间层为含C的TiNC,底层为含Ti和Cr的TiNC,力学性能良好。更多还原

【Abstract】 Cr+Ti+TiNC/TiNC+C/DLC films were prepared by combining unbalanced magnetron sputtering with cathode arc and Hall ion source. The films, with smooth surface, are deep black in color. In order to improve adhesive property of the DLC films to the substrate, graded interlayers, Cr+Ti+TiNC and TiNC+C have been used. The multi- layer film shows good mechanics properties.更多还原

【关键词】类金刚石膜；多层膜；非平衡磁控溅射；电弧离子镀； X射线光电子能谱仪；
【Key words】 Diamond-like carbon film； Multilayer films； Unbalanced magnetron sputtering； Cathode arc； X-ray Photoelectron Spectroscopy；

【基金】深圳市科技计划项目资金(SY200609080027A)资助

【文献出处】核技术 ,Nuclear Techniques , 编辑部邮箱 ,2008年02期

【分类号】O484.4;TB43
【被引频次】6
【下载频次】355

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