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MEMS痕量爆炸物传感器的探测选择性分析

Detection selectivity analysis of MEMS trace explosive sensor

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【Author】 QI Yong-guang1,2,KONG De-yi1(1.Key Laboratory of Biomimetic Sensing Robot Technology of Anhui Province,State Key Laboratory ofTransducer Technology,Institute of Intelligent Machines,Chinese Academy of Sciences,Hefei 230031,China;2.Department of Automation,University of Science and Technology of China,Hefei 230026,China)

【机构】中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室安徽省仿生感知与先进机器人技术重点实验室；

【摘要】利用MEMS传感器对被测物进行高选择性探测。对几种不同探测原理的MEMS痕量爆炸物传感器进行了分析与比较,指出其在选择性探测方面的不足与缺陷,提出了可提高选择性的解决方法。更多还原

【Abstract】 High selectivity detection of measured substance is made with MEMS sensor.Some kinds of detecting methods based on different principles are summarized,their deficiencies on the aspect of detection selectivity are pointed out,and the possible solutions of this problem are also proposed.更多还原

【关键词】选择性探测；痕量爆炸物探测；微硅梁；微悬臂梁；微电子机械系统；
【Key words】 detection selectivity； trace explosive detection； micro silicon beam； microcantilever； MEMS；

【基金】国家自然科学基金资助项目(60574093,50534050);国家“863”计划资助项目(2007AA04Z341)

【文献出处】传感器与微系统 ,Transducer and Microsystem Technologies , 编辑部邮箱 ,2008年07期

【分类号】TP212
【被引频次】4
【下载频次】239

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