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大孔径差分真空系统中充气气流效应分析

Analysis of filled gas flow effect on large-aperture difference vacuum system

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【Author】 ZHANG Su-ping1, 2, YANG Xiao-tian1, MENG Jun1, 2, ZHANG Jun-hui1, ZHAO Yu gang1 , ZHANG Xi-ping1, HU Zhen-jun1, HOU Sheng-jun1 (1.Institute of Modern Physics, Chinese Academy of Sciences, Lanzhou 730000, China; 2. Graduate School of the Chinese Academy of Science, Beijing 100039, China )

【机构】中国科学院近代物理研究所；中国科学院近代物理研究所甘肃兰州730000 中国科学院研究生院；北京100039；甘肃兰州730000；甘肃兰州730000 中国科学院研究生院；

【摘要】分析了在分子流态下差分真空系统中充气气流效应的存在,通过引入了差分比,定量计算出充气气流效应对差分真空系统的影响。更多还原

【Abstract】 Analyzes the existence of the filled gas flow effect on the large-aperture difference vacuum system, which is in form of molecular flow. A conclusion is drawn that the filled gas flow effect on the difference vacuum system can be calculated if introducing the definition of a difference ratio.更多还原

【关键词】充气气流效应；大孔径；差分真空系统；差分比；分子流；
【Key words】 filled gas flow effect； large aperture； difference vacuum system； difference ratio； molecular flow；

【基金】国家自然科学基金项目(10675152)

【文献出处】真空 ,Vacuum , 编辑部邮箱 ,2007年05期

【分类号】TB71
【被引频次】3
【下载频次】121

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