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石英真空计的工作原理

Operating principle of quartz oscillator vacuum gauge

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【作者】 王逊； 唐镇松； 张云峰；

【Author】 WANG Xun, TANG Zhen-song, ZHANG Yun-feng (Department of Electronics, Beijing University,Beijing 100871,China)

【机构】 北京大学电子学系； 北京大学电子学系 北京100871； 北京100871；

【摘要】 本文介绍石英真空计的原理及石英晶振的特性。

【Abstract】 The operating principle of quartz oscillator vacuum gauge and its characteristics of crystal oscillation are described and discussed.

【关键词】 石英真空计； 谐振频率； 谐振阻抗；
【Key words】 quartz oscillator vacuum gauge； resonance freguency； resonant impedance；
  • 【分类号】TB772
  • 【被引频次】7
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