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一种新型MEMS移相器设计
A Novel Design for the MEMS Phase Shifter
【摘要】 建立Ka波段分布式MEMS移相器的等效电路,设计基于此模型的分布式MEMS移相器,并对其反射损耗与插入损耗进行优化。仿真结果表明,该模型在4GHz工作带宽内反射损耗小于-15dB,在10GHz带宽内插入损耗大于-2dB,单桥相移达到35°。
【Abstract】 The equivalent circuit for the distributed MEMS transmission line phase shifter of Ka band is modeled.After the optimization of the return loss and insertion loss,the phase shifter structure based on this model is designed.The simulation results show that the return loss is below-15dB during the bandwidth of 4GHz,and the insertion loss is more than-2dB during the bandwidth of 10GHz.The phase shift for a single MEMS bridge can reach 35 degrees.
【关键词】 分布式MEMS传输线；
移相器；
等效电路；
MEMS金属桥；
【Key words】 Distributed MEMS transmission line(DMTL)； Phase shifter； Equivalent circuit； MEMS bridge；
【Key words】 Distributed MEMS transmission line(DMTL)； Phase shifter； Equivalent circuit； MEMS bridge；
【基金】 航空科学基金(20060112105);CAST创新基金(CAST200610);哈尔滨工业大学跨学科交叉性研究基金(HITMD.2003.07)
- 【文献出处】 遥测遥控 ,Journal of Telemetry,Tracking and Command , 编辑部邮箱 ,2007年05期
- 【分类号】TN623
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