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CVD复制技术制备ZnS头罩

CVD replication for ZnS dome

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【作者】 鲁泥藕霍承松付利刚石红春孙加滢杨海

【Author】 LU Ni-ou,HUO Cheng-song,FU Li-gang,SHI Hong-chun,SUN Jia-ying,YANG Hai(General Research Institute for Non-Ferrous Metals,Beijing Guojing Infrared Optical Technology Co.,Ltd.,Beijing 100088,China)

【机构】 北京有色金属研究总院北京国晶辉红外光学科技有限公司北京有色金属研究总院北京国晶辉红外光学科技有限公司 北京100088北京100088

【摘要】 为减轻生产、加工难度和减少材料浪费,提出了CVD复制技术制备ZnS头罩的方法。着重阐述了衬底和CVD过程对复制ZnS头罩的影响,并列举了复制ZnS头罩时衬底材料的要求。

【Abstract】 A chemical vapor deposition process has been used to replicated ZnS dome to alleviate the difficulties of production and machining and to reduce the waste of material.The paper emphases the influence of substrates and CVD process on ZnS dome replication.The paper also exemples the demands of substract for ZnS dome.

【关键词】 CVD复制ZnS头罩衬底过程
【Key words】 CVD replicationZnS DomeSubstratesProcess
  • 【文献出处】 红外与激光工程 ,Infrared and Laser Engineering , 编辑部邮箱 ,2007年S2期
  • 【分类号】TN21
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