节点文献

IC制造中的气动系统

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具，请取消加速工具后下载。

【作者】 张自航； 郑梦鼎；

【机构】 喜开理(上海)机器有限公司； 喜开理(上海)机器有限公司；

【摘要】 超纯系统随着大规模集成电路的发展,现已形成很大的规模,这对我国的气动行业提出了新的要求,也带来了极大的机遇。

【关键词】 气动系统； IC制造； 气动元件； 流体控制； 加工尺寸； 静态存储器； 随机存储器； 阀体； 蝶阀； 制造环境；
  • 【分类号】TH138
  • 【下载频次】38
知网节下载
节点文献中： 

本文链接的文献网络图示:

本文的引文网络
二级参考文献(0)
参考文献(0)
共引文献(0)
节点文献
同被引文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)