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自动化椭圆偏振光谱仪的研制

The Design of Automatic Ellipsometer

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【作者】 郭扬铭莫党张曰理唐振方

【Author】 GUO Yang_ming~1,MO Dang~1,ZHANG Yue_li~1,TANG Zhen_fang~2nt of Physics,Sun Yat_sen University, Guangzhou 510275,China;2.College of Science and Technologies, Jinan University, Guangzhou 510630, China)

【机构】 中山大学理工学院光电材料与技术国家重点实验室暨南大学理工学院 广东广州510275广东广州510275广东广州510630

【摘要】 介绍了新型自动化光度法椭圆偏振光谱仪的研制。测试结果表明:仪器对椭偏参数tanΨ的重复性测量精度为±0 0004,cosΔ的重复性测量精度为±0 001,膜厚的相对误差小于0 5%。

【Abstract】 The designs of automatic ellipsometer are reported. The experiment results show that the repeatability of (tan Ψ) and cos Δ is 0.000 4 and 0.001 respectively.The relative error of film thickness is less than 0.5%.

【关键词】 偏光谱仪光度法硬件软件
【Key words】 ellipsometerphotometryhardwaresoftware
【基金】 国家自然科学基金资助项目(50372085);广东省科技计划资助项目(2004B60303001);中山大学青年教师启动基金资助项目
  • 【文献出处】 中山大学学报(自然科学版) ,Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni , 编辑部邮箱 ,2005年01期
  • 【分类号】TH744
  • 【被引频次】2
  • 【下载频次】220
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