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自动化椭圆偏振光谱仪的研制
The Design of Automatic Ellipsometer
【摘要】 介绍了新型自动化光度法椭圆偏振光谱仪的研制。测试结果表明:仪器对椭偏参数tanΨ的重复性测量精度为±0 0004,cosΔ的重复性测量精度为±0 001,膜厚的相对误差小于0 5%。
【Abstract】 The designs of automatic ellipsometer are reported. The experiment results show that the repeatability of (tan Ψ) and cos Δ is 0.000 4 and 0.001 respectively.The relative error of film thickness is less than 0.5%.
【基金】 国家自然科学基金资助项目(50372085);广东省科技计划资助项目(2004B60303001);中山大学青年教师启动基金资助项目
- 【文献出处】 中山大学学报(自然科学版) ,Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni , 编辑部邮箱 ,2005年01期
- 【分类号】TH744
- 【被引频次】2
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