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自动化椭圆偏振光谱仪的研制

The Design of Automatic Ellipsometer

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【Author】 GUO Yang_ming~1,MO Dang~1,ZHANG Yue_li~1,TANG Zhen_fang~2nt of Physics,Sun Yat_sen University, Guangzhou 510275,China;2.College of Science and Technologies, Jinan University, Guangzhou 510630, China)

【机构】中山大学理工学院光电材料与技术国家重点实验室；暨南大学理工学院广东广州510275；广东广州510275；广东广州510630；

【摘要】介绍了新型自动化光度法椭圆偏振光谱仪的研制。测试结果表明:仪器对椭偏参数tanΨ的重复性测量精度为±0 0004,cosΔ的重复性测量精度为±0 001,膜厚的相对误差小于0 5%。更多还原

【Abstract】 The designs of automatic ellipsometer are reported. The experiment results show that the repeatability of (tan Ψ) and cos Δ is 0.000 4 and 0.001 respectively.The relative error of film thickness is less than 0.5%.更多还原

【关键词】偏光谱仪；光度法；硬件；软件；
【Key words】 ellipsometer； photometry； hardware； software；

【基金】国家自然科学基金资助项目(50372085);广东省科技计划资助项目(2004B60303001);中山大学青年教师启动基金资助项目

【文献出处】中山大学学报(自然科学版) ,Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni , 编辑部邮箱 ,2005年01期

【分类号】TH744
【被引频次】2
【下载频次】220

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