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微波ECR等离子体特性及其对DLC膜性能的影响
Influence of Properties of Microwave Electron Cyclotron Resonance Plasma on Diamond-Like Carbon Film Deposition
【摘要】 为了解并优化在微波ECR等离子体增强化学气相沉积制备类金刚石膜工艺研究中的等离子体特性,利用朗缪尔探针法系统地测量了等离子体密度(Ne)、电子温度(Te)随工作气压(p)变化的关系。DLC膜的结构和性能依赖于沉积条件,提高等离子体密度有利于DLC膜的生长。本文示出了不同的CH4流量时,DLC膜的拉曼光谱和表面均方根粗糙度Rrms变化曲线,阐述了等离子体密度Ne、电子温度Te对DLC膜结构和性能的影响。
【Abstract】 Various properties of microwave electron cyclotron resonance(ECR) plasma,including gas flow rate,plasma density,and dependence of electron temperature on gas pressure,were measured with Langmuir probe to improve diamond-like carbon (DLC) film growth.We found that film growth conditions considerably affect microstructures and quality of DLC film.For example higher plasma density favors DLC film growth.
【关键词】 类金刚石膜；
朗缪尔探针；
微波电子回旋共振；
等离子体密度；
电子温度；
【Key words】 Diamond-like carbon； Langmuir probe； Microwave ECR； Plasma density； Electron temperature；
【Key words】 Diamond-like carbon； Langmuir probe； Microwave ECR； Plasma density； Electron temperature；
【基金】 国家自然科学基金(No.50135040,50390060)
- 【文献出处】 真空科学与技术学报 ,Chinese Journal of Vacuum Science and Technology , 编辑部邮箱 ,2005年02期
- 【分类号】O484.4
- 【被引频次】2
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