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定容式流导法微流量校准装置

Low Throughput Calibration by Constant Volume and Conductance Technique

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【作者】张涤新；郭美如；冯焱；赵澜；李得天；赵定众；李正海；成永军；李莉；龚月莉；孙海；

【Author】 Zhang Dixin *,Guo Meiru,Feng Yan,Zhao Lan,Li Detian,Zhao Dingzhong, Li Zhenghai,Cheng Yongjun,Li Li,Gong Yueli and Sun Hai (Lanzhou Institute of Physics,Lanzhou,730000,China)

【机构】兰州物理研究所；兰州物理研究所兰州730000；兰州730000；兰州730000；

【摘要】定容式流导法微流量校准装置是气体微流量的计量标准 ,可采用定容法和流导法对气体微流进行校准 ,校准范围为 (5× 10 -2 ～ 5× 10 -11)Pa·m3 /s,合成标准不确定度为 0 .5 6 %～ 1.7%。更多还原

【Abstract】 A novel low throughput calibration,has been successfully developed,in which volume and conductance are kept constant.The calibration ranges (5×10 -2 ～5×10 -11 )Pa·m 3/s,with a combined standard uncertainty of 0.56%～1.7%.更多还原

【关键词】流量计；流量校准；真空漏孔；
【Key words】 Gas flowmeter； Throughput calibration； Vacuum leaker；

【文献出处】真空科学与技术学报 ,Chinese Journal of Vacuum Science and Technology , 编辑部邮箱 ,2005年01期

【分类号】TB77
【被引频次】17
【下载频次】144

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