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超硬纳米多层膜和复合膜的研究综述

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【作者】 白晓明； 郑伟涛； 安涛；

【机构】 吉林大学材料科学系； 吉林大学材料科学系 长春 130012； 长春 130012； 长春 130012；

【摘要】 综述了近年来纳米多层膜和复合超硬涂层研究的最新进展,分析了Ti／TiN、氮化物／氮化物多层膜和Ti-Si-N及Ti-Al-Si-N系复合膜的最新研究现状,详述了纳米多层膜和复合超硬涂层的致硬机理和设计方法,展望了今后纳米多层膜和复合超硬涂层的研究方向.

【关键词】 纳米； 多层膜； 复合膜； 超硬；
【基金】 国家自然科学基金资助项目(批准号:50372024)
  • 【分类号】TB383
  • 【被引频次】46
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