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基于准LIGA工艺的微型传动齿轮制作

Fabrication of Micro Movable Gear Using Quasi-LIGA Process

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【Author】 Deng Yangming Li Desheng(College of Mechanical Engineering and Applied Electronics Technogogy,Beijing Uniersity of Technology, Beijing 100022, China)

【机构】北京工业大学机械工程与应用电子学院；北京工业大学机械工程与应用电子学院北京100022；北京100022；

【摘要】研究了结合多层光刻胶工艺和金属牺牲层法制作微型传动齿轮的加工工艺,并给出了部分实验结果。更多还原

【Abstract】 A kind of micro movable gear is fabricated by using multilayers’ photoresist technology and metal sac-rificial layer technololgy.Some experiment results are presented.更多还原

【关键词】 MEMS；准LIGA；微齿轮；多层光刻胶工艺；
【Key words】 MEMS Quasi-LIGA Micro gear multilayers’ photoresist technology；

【文献出处】仪器仪表学报 ,Chinese Journal of Scientific Instrument , 编辑部邮箱 ,2005年S2期

【分类号】TH132.41
【被引频次】12
【下载频次】299

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