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原子力显微镜在信息存储介质检测中的应用

The Application of AFM in Storage Medium Detection

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【作者】 刘万里孙大许马强闫勇刚

【Author】 Liu Wanli,Sun Daxu,Ma Qiang,Yan Yonggang(Precision Engineering Institute,Henan Polytechnic University,Jiaozuo 454003,China)

【机构】 河南理工大学精密工程研究所河南理工大学精密工程研究所 焦作454003焦作454003焦作454003

【摘要】 介绍了原子力显微镜(AFM)的原理及特点。用AFM对光盘上记录信息用的凹坑结构进行了三维检测。所得结论表明AFM在信息存储介质检测过程中具有独特的优势。

【Abstract】 The paper introduces the principle and characteristic of Atomic Force Microscope(AFM).The pit structure on optical disk in detected in tree dimensions by AFM,The obtained results demonstrate the AFM have particular advantages in the course of detection on storage medium.

【关键词】 原子力显微镜(AFM)光盘凹坑检测
【Key words】 Atomic Force Microscopy(AFM)Optical diskpitdetection
  • 【文献出处】 现代科学仪器 ,Modern Scientific Instruments , 编辑部邮箱 ,2005年05期
  • 【分类号】TP333;
  • 【被引频次】3
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