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炉管机台参数的采集与统计过程控制
【摘要】 在晶圆制造的氧化扩散阶段,主要使用立式炉管来制备氧化物,本文简要说明了机台参数的采集过程,着重结合SPC技术分析了机台过程参数的控制流程和控制图的判读方法,并对采用该技术后的效益和应该注意的问题作了说明。
- 【文献出处】 铜陵学院学报 ,Journal of Tongling College , 编辑部邮箱 ,2005年04期
- 【分类号】TN305
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【摘要】 在晶圆制造的氧化扩散阶段,主要使用立式炉管来制备氧化物,本文简要说明了机台参数的采集过程,着重结合SPC技术分析了机台过程参数的控制流程和控制图的判读方法,并对采用该技术后的效益和应该注意的问题作了说明。