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MICROLAB MKII失效原因探讨

Finding the Cause to the Efficacy Loss of MICROLAB MKII

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【摘要】 剖析了MICROLAB MKII表面分析仪的386电源、MIG300高压电源、VPS60溅射离子泵电源、14D一20示波器等单元电路的原理。分析了部分故障产生的原因及排除方法。还对部分单元电路进行了简化处理,补绘了部分模块的电路图。

【关键词】 剖析电路原理故障
  • 【文献出处】 实验科学与技术 ,Experiment Science and Techndogy , 编辑部邮箱 ,2005年S1期
  • 【分类号】TH742;
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