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薄膜制备技术中溶胶-凝胶工艺研究

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【作者】 韩德强； 李勇；

【机构】 江西理工大学材料与化学工程学院； 江西理工大学材料与化学工程学院 赣州341000； 赣州341000；

【摘要】 综述了溶胶-凝胶工艺在薄膜制备技术中的现状和技术动态、溶胶-凝胶工艺的成膜理论和成膜工艺对薄膜工业发展的促进,并简要提出了溶胶-凝胶薄膜工艺影响薄膜厚度的因素和存在的主要技术问题。

【关键词】 溶胶-凝胶法； 成膜理论； 成膜工艺； 发展现状；
  • 【分类号】TB43;
  • 【被引频次】40
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