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半导体集成电路器件生产废水处理工艺研究与应用

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【作者】 刘新超； 高连敬； 孙勇；

【机构】 同济大学环境科学与工程学院； 同济大学建筑设计研究院； 上海市政工程设计研究院 上海200092； 上海200092； 上海200092；

【摘要】 针对半导体集成电路器件生产产生的电镀废水、酸碱废水,对流量控制、pH、药剂投加量、反应搅拌强度进行研究,并提出合理的处理工艺,确保废水处理达标排放。

【关键词】 半导体集成电路； 电镀废水； 酸碱废水； pH控制；
  • 【文献出处】 能源环境保护 ,Energy Environmental Protection , 编辑部邮箱 ,2005年04期
  • 【分类号】X703
  • 【被引频次】3
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