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氧化物半导体甲烷传感器研究进展

Research development of oxide semiconductor methane sensor

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【Author】 DING Hai-dong, ZHAO Yu-long, SUN Zhi (School of Material Science and Engineering, China University of Mining and Technology, Xuzhou 221008, China)

【机构】中国矿业大学材料科学与工程学院；中国矿业大学材料科学与工程学院江苏徐州221008；江苏徐州221008；江苏徐州221008；

【摘要】介绍了氧化物半导体甲烷气体传感器的工作机理,论述了改善氧化物半导体甲烷气敏传感器性能的几种途径。采用加入催化剂、控制材料的微细结构、利用新的制备工艺和表面修饰等新方法、新技术可提高氧化物半导体甲烷气敏元件的灵敏度、选择性、响应和恢复特性、稳定性。更多还原

【关键词】甲烷；传感器；半导体氧化物；

【基金】江苏省自然科学基金项目(BK200403)

【文献出处】煤炭科学技术 ,Coal Science and Technology , 编辑部邮箱 ,2005年07期

【分类号】TD712.55
【被引频次】30
【下载频次】641

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