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微机电系统的构成及其关键技术

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【作者】 杨红军； 李刚炎；

【机构】 武汉理工大学机电工程学院； 武汉理工大学机电工程学院 湖北武汉430070； 湖北武汉430070；

【摘要】 微机电系统技术是当前机械工程研究的前沿技术之一,是 21 世纪最有前途的产业之一。概述了微机电系统的定义与构成,讨论了微机电系统的一些关键技术,并对微机电系统的发展前景作了展望。

【关键词】 微机电系统； 构成； 关键技术；
  • 【分类号】TH703
  • 【被引频次】13
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