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应变InGaAs/GaAs量子阱MOCVD生长优化及其在980nm半导体激光器中的应用

Optimization of MOCVD-growth strain InGaAs/GaAs quantum wells and its application for 980 nm LD

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【作者】 俞波； 盖红星； 韩军； 邓军； 邢艳辉； 李建军； 廉鹏； 邹德恕； 沈光地；

【Author】 YU Bo, GAI Hong-xing, HAN Jun, DENG Jun, XING Yan-hui, LI Jian-jun, LIAN Peng, ZOU De-shu, SHEN Guang-di( Beijing Optoelectronic Technology Laboratory, Beijing University of Technology, Beijing 100022, China )

【机构】 北京工业大学光电子技术实验室； 北京工业大学光电子技术实验室 北京 100022； 北京 100022； 北京 100022；

【摘要】 使用低压MOCVD生长应变InGaAs/GaAs 980 nm量子阱。研究了生长温度、生长速度对量子阱光致发光谱(PL)的影响。并将优化后的量子阱生长条件应用于980 nm半导体激光器的研制中,获得了直流工作下,阈值电流为19 mA,未镀膜斜率效率为0.6 W/A,输出功率在100 mW的器件。

【Abstract】 The strained InGaAs/GaAs quantum wells (QWs) for 980 nm LD were grown by MOCVD. The effects of growth temperature and growth rate of InGaAs/GaAs QWs were investigated. We applied the optimized growth condition to 980 high power LD growth. Without coating, an optical power output of 100 mW, Ith of 19 mA, differential efficiency of 0.6 W/A were obtained.

【关键词】 光电子学； 半导体激光器； 应变量子阱； 金属有机化学气相淀积；
【Key words】 optoelectronics； semiconductor lasers； strain quantum wells； metallorganic chemical vapor deposition；
【基金】 国家973基金资助项目(G20000683-02)国家863计划资助项目(2002AA312070)北京市自然科学基金(4032007)
  • 【文献出处】 量子电子学报 ,Chinese Journal of Quantum Electronics , 编辑部邮箱 ,2005年01期
  • 【分类号】TN248.4
  • 【被引频次】10
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