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电容式微位移传感器检测电路的设计
Design of Transform Circuit for Displacement Capacitance Sensor
【摘要】 设计了一种改进的电容运算放大器检测电路,该电路主要包括正弦激励源电路、电容检测电路、精密全波整流电路和增益滤波电路。实验证明,采用该电路的传感器,非线性误差小于 0.1%,分辨率优于 0.1μm。
【Abstract】 Novel improved interface circuitry for capacitance transducers is developed based on operational amplifier. Experimental results show that linearity of 0.1% and resolution of 0.1 μm can be achieved.
【关键词】 电容；
传感器；
微位移测量；
检测电路；
【Key words】 capacitance； sensor； displacement measurement； detecting circuit；
【Key words】 capacitance； sensor； displacement measurement； detecting circuit；
- 【文献出处】 机械与电子 ,Machinery & Electronics , 编辑部邮箱 ,2005年01期
- 【分类号】TP212
- 【被引频次】57
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