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一种高分辨力电镜放大倍率的校准方法
【摘要】 针对集成电路制造中TEM检测分析的高正确度要求,本文介绍了一种高分辨力电子显微镜放大倍率的校准方法。该方法简单、方便,能够有效地减少系统误差,结果可靠,适用范围广。
- 【文献出处】 计量技术 ,Measurement Technique , 编辑部邮箱 ,2005年11期
- 【分类号】TN405;
- 【被引频次】1
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【摘要】 针对集成电路制造中TEM检测分析的高正确度要求,本文介绍了一种高分辨力电子显微镜放大倍率的校准方法。该方法简单、方便,能够有效地减少系统误差,结果可靠,适用范围广。