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一种小型相位光栅干涉式(PGI)微位移传感器

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【作者】 肖刚； 谢铁邦； 王选择；

【机构】 华中科技大学机械学院仪器系； 华中科技大学机械学院仪器系 武汉430074； 武汉430074； 武汉430074；

【摘要】 本文在已有的研究成果基础之上 ,介绍了一种小型相位光栅干涉式 (PhaseGratingInterference)微位移传感器 ,该传感器具有大量程、高分辨力的特点

【关键词】 传感器； 表面形貌； 相位光栅干涉； 微位移测量；
  • 【文献出处】 计量技术 ,Measurement Technique , 编辑部邮箱 ,2005年01期
  • 【分类号】TP212
  • 【被引频次】7
  • 【下载频次】217
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