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用激光分子束外延在Si衬底上外延生长La1-xSrxMnO3单晶薄膜
【摘要】 采用SrO和SrTiO3作为缓冲层,用激光分子束外延在Si(100)衬底上成功地外延生长出La1-xSrxMnO3(x=0.1,0.2,0.3)(LSMO)单晶薄膜.锐而清晰的反射式高能电子衍射仪(RHEED)的衍射条纹和持久的RHEED强度振荡,表明LSMO薄膜是很好的二维层状外延生长.X射线衍射和高分辨透射电镜分析结果证明,在Si基底上获得了很好外延生长的LSMO薄膜,LSMO薄膜为C取向的单晶薄膜.并在室温条件下观测到很好的LSMO/Sip-n结I-V整流特性.
【关键词】 激光分子束外延；
外延生长；
Si；
衬底；
La1-xSrxMnO3薄膜；
【基金】 国家自然科学基金重点项目(批准号:10334070);国家重点基础研究发展规划项目(批准号:2004CB619004)资助
- 【文献出处】 中国科学G辑:物理学、力学、天文学 ,Science in China(Series G) , 编辑部邮箱 ,2005年06期
- 【分类号】O484.1
- 【被引频次】3
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