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用原子力显微镜研究经化学腐蚀和氧退火的SrTiO3（001）基片

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【作者】 王旭； 费义艳； 吕惠宾； 金奎娟； 朱湘东； 陈正豪； 周岳亮； 杨国桢；

【机构】 中国科学院物理研究所北京凝聚态物理国家实验室； 中国科学院物理研究所北京凝聚态物理国家实验室 北京100080； 北京100080； 北京100080 Department of Physics； University of California； Davis； California； USA； 北京100080；

【摘要】 用原子力显微镜(AFM),采用缓冲HF酸溶液(NH4F-buffered)腐蚀和氧气氛退火处理的SrTiO3(001)(STO)基片,获得了表面具有单原胞层高度台阶和原子尺度光滑表面的STO基片.对于优质单晶的STO基片,其表面为TiO2层,对于单晶质量差和有缺陷的STO基片,可观测到基片表面的缺陷和不均匀性.

【关键词】 AFM； SrTiO3； 表面形貌； 表面缺陷；
【基金】 国家自然科学基金重点项目(批准号:10334070);中国科学院海外杰出青年学者基金项目(批准号:2003-2-5)资助
  • 【文献出处】 中国科学G辑:物理学、力学、天文学 ,Science in China(Series G) , 编辑部邮箱 ,2005年02期
  • 【分类号】TG172
  • 【被引频次】6
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