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单片集成三轴微机械陀螺技术初步研究

Research on Monolithic Integrated Three-Axis Micromachined Gyroscope

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【Author】 WANG Yuan-shan,XIONG Min-min,WANG Shou-rong(Department of Instrument Science & Engineering,Southeast University,Nanjing 210096,China)

【机构】东南大学仪器科学与工程系；东南大学仪器科学与工程系江苏南京210096；江苏南京210096；江苏南京210096；

【摘要】设计了一种单片集成三轴微机械陀螺,制造了一批样机,进行了初步的驱动特性的实验研究,研制结果表明,陀螺性能符合设计要求。更多还原

【Abstract】 A new monolithic integrated three-axis micromachined gyroscope is designed and tested.It is indicated that the gyroscopes run in expected mode.更多还原

【关键词】单片集成三轴；微机械陀螺；微机电系统；
【Key words】 monolithic integrated three-axis； micromachined gyroscope； MEMS；

【文献出处】测控技术 ,Measurement & Control Technology , 编辑部邮箱 ,2005年10期

【分类号】TH703;
【被引频次】7
【下载频次】189

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