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大范围高精度的纳米测量现状与发展趋势

Review on long-range and ultrahigh-accuracy nanometer measurements

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【作者】 韦丰； 陈本永； 丁启全；

【Author】 WEI Feng~1, CHEN Ben-yong~2, DING Qi-yuan~1 (1. Department of the Mechanical engineering , Zhejiang University, Hangzhou310027, China) (2. Department of the Measurement and Control Technology, Zhejiang University of Sciences, Hangzhou310033, China)

【机构】 浙江大学机械工程系； 浙江理工大学测控系； 浙江大学机械工程系 浙江杭州　310027； 浙江杭州　310033； 浙江杭州　310027；

【摘要】 介绍了用于大范围高精度纳米测量的方法和当前的发展动态。给出了大范围高精度纳米测量所取得的成果及具体的仪器装置。提出了一种基于合成波长条纹细分原理的新颖的纳米测量方法,在数十毫米的测量范围内,理论上可以达到1/440000的细分系数。

【Abstract】 The methods for long-range and high-accuracy nanometer measurement are introduced, and some typical devices are displayed. A novel method for long-range and ultrahigh-accuracy nanometer measurement is proposed based on the principle of fringe subdivision by use of a synthetic wavelength with a subdivision factor of up to 1/440000.

【关键词】 纳米测量； 光学干涉仪； 自混频干涉； 扫描探针显微镜； 合成波长；
【Key words】 nanometer measurement； optical interferometer； self-mixing interferometer； SPM； synthetic wavelength；
【基金】 国家自然科学基金资助项目(50275138)
  • 【分类号】TH706;TH744
  • 【被引频次】26
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