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Fe靶激光等离子体25～60nm波段光谱实验研究

Experimental research on the spectra of iron-target laser-produced plasma in the 25～60nm band

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【Author】 ZHANG Da-wei~(1,2), QI Li-hong~(1,2), LI Zhong-fang~(1,2), CHEN Shu-yan~(1,2), NI Qi-liang~1, CHEN Bo~1(1. Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun130033, China)(2. Graduate School of the Chinese Academy of Sciences, Beijing100039, China)

【机构】中国科学院长春光学精密机械与物理研究所；中国科学院长春光学精密机械与物理研究所长春　130033中国科学院研究生院北京　100039；长春　130033中国科学院研究生院北京　100039；长春　130033；长春　130033；

【摘要】以McPHERSON247型掠入射软X射线真空紫外单色仪配合5900Magnum通道电子倍增器,测量了Fe靶在高真空环境下的纳秒激光等离子体25～60nm波段的EUV光谱,单色仪理论光谱分辨率Δλ≤0.038nm,波长扫描间隔0.1nm。在上述波段内测得了FeVI及FeV的强发射线丛,认证出14根强谱线。更多还原

【Abstract】 Using a McPHERSON model 247 grazing incidence monochromator equipped with a 5900 Magnum CEM, the EUV spectra from an iron-target nano-second-laser-produced plasma in high vacuum is measured in the 25～60nm band, with a theoretical spectral resolution of Δλ≤0.038nm and a wavelength scanning interval of 0.1nm. Strong line clusters of Fe VI and Fe V are observed in the above-mentioned wave band, 14 strongest emission lines are identified.更多还原

【关键词】激光等离子体； EUV；光谱测量；谱线认证；
【Key words】 laser-produced plasma； EUV； spectral measurement； spectral line identification；

【基金】国家自然科学基金资助项目(60223003);中国科学院长春光机所二期创新基金资助项目(2001.02)

【文献出处】光学技术 ,Optical Technique , 编辑部邮箱 ,2005年01期

【分类号】O4-33
【被引频次】2
【下载频次】80

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