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基于数据挖掘的制造过程合格率管理体系研究

Study on Yield Management System of Semiconductor Manufacturing Process Based on Data Mining

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【Author】 QI Er-shi~1,NIE Bin~1,CHIEN Chen-Fu~2(1. School of Management, Tianjin University, Tianjin 300072, China;2. Department of Industrial Engineering & Engineering Management,Tsing Hua University, Taiwan China)

【机构】天津大学管理学院；台湾清华大学工业工程与工程管理学系天津300072；天津300072；台湾；

【摘要】在半导体自动化制造过程中产生大量的数据,为应用数据挖掘技术进行有效的过程监控提供了条件。提出在运用数据挖掘技术中聚类分析方法的基础上,对不合格批产品的加工路径进行分析,从而准确地将控制对象定位于某些问题设备,并结合统计过程控制的手段加强监控。更多还原

【Abstract】 Data Mining technology can extract valuable information and knowledge from an increasing number of raw data. A lot of data are available during semiconductor manufacturing process, which can possibly be analyzed by data mining technologies. This article introduce a yield control system based on data mining and critical path analysis. Statistical process control is applied to critical equipment.更多还原

【关键词】数据挖掘；合格率管理；聚类分析；关键路线；统计过程控制；
【Key words】 data mining； yield management； clustering analysis； critical path； statistical process control；

【文献出处】工业工程 ,Industrial Engineering Journal , 编辑部邮箱 ,2005年03期

【分类号】TN305
【被引频次】7
【下载频次】230

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