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电子显微镜维修二例

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【作者】 黄俊民； 曲跃文；

【机构】 福建师范大学实验中心； 福建师范大学实验中心 福建； 福州350007； 福建； 福州350007；

【摘要】 本文主要介绍二例电子显微镜故障的分析、判断及排除方法。

【关键词】 电子显微镜； 真空； 扩散泵； 电磁阀；
  • 【文献出处】 福建分析测试 ,Fujian Analysis&Testirg , 编辑部邮箱 ,2005年01期
  • 【分类号】TH742;
  • 【下载频次】45
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