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TiN/TiB2纳米多层膜的共格外延生长

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【作者】 戴嘉维； 岳建岭； 李戈扬；

【机构】 上海交通大学教育部高温材料及高温测试重点实验室； 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室； 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室 上海200030； 上海200030； 上海200030；

【关键词】 纳米多层膜； TiN/TiB2； 外延生长； 共格； 超硬效应； 微结构特征； 交替沉积； 多层薄膜； 磁控溅射； 单层膜；
【基金】 上海市专利技术再创新项目(No·03725052).
  • 【文献出处】 电子显微学报 ,Journal of Chinese Electron Microscopy Society , 编辑部邮箱 ,2005年04期
  • 【分类号】TN304
  • 【被引频次】1
  • 【下载频次】138
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