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微型机电继电器研究进展

Developing Trends of New Electromechanical Relays

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【作者】 张东梅； 丁桂甫； 姜政；

【机构】 上海交通大学微纳米科学技术研究院； 上海交通大学微纳米科学技术研究院；

【摘要】 微型化是机电继电器最重要的发展方向之一,MEMS设计和制造技术的进展开辟了机电继电器微型化的崭新途径。本文系统介绍了典型MEMS继电器的研究进展,简要地比较、评述了它们的优势和缺点。

【关键词】 机电继电器； 微驱动器； 微机械加工技术； 双稳态继电器；
【基金】 国家高技术研究发展计划(863)项目(2003AA404140);信息产业部电子科学研究院基金资助项目(0241308050116)
  • 【文献出处】 电子产品世界 ,Electronic Engineering & Product World , 编辑部邮箱 ,2005年05期
  • 【分类号】TM58
  • 【被引频次】4
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