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TiO₂薄膜光学性质的研究

Study on optical properties of TiO₂ film

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【Author】 LI Dan~1,HE Yuan-hua~2,LIU Qing-ju~2(1. College of Physics and Information Technology,Guangxi Normal University,Guilin 541004,China;2. Department of Material Science & Engineering,Yunnan University,Kunming 650091,China)

【机构】广西师范大学物理与信息工程学院；云南大学材料科学与工程系；云南大学材料科学与工程系广西桂林541004；云南昆明650091；云南昆明650091；

【摘要】以磁控溅射制备的TiO2薄膜为样品,通过对薄膜折射率、吸收系数、膜厚度与入射光波长相互关系的分析,获得了TiO2薄膜的折射率、吸收系数与入射光波长的关系式,以及TiO2薄膜厚度的计算公式.更多还原

【Abstract】 The optical characteristics on the interrelation between wavelength and refractivity,absorptance,film thickness of TiO₂film prepared by magnetron sputtering is studied,and the formulas expressing their relation are obtained.更多还原