【作者】 焦斌斌； 陈大鹏； 叶甜春； 欧毅； 董立军； 杨清华；
【机构】 中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室； 中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室 北京100029； 北京100029； 北京100029；
