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热式气体质量流量传感器研究与发展

Research And Development Of Thermal –Film Air-Mass Sensor

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【摘要】 本文详细地介绍了热式气体流量传感器的工作原理,同时概括了其发展和应用情况。最后对其目前发展过程中一些尚待解决的问题及其未来的发展趋势进行了讨论。

【Abstract】 The principles and applications of a thermal-film air- mass sensor are introduced in detail.The challenges for the development of the sensor are discussed and the future direction is also presensted.

【关键词】 热流量传感器MEMS
【Key words】 thermal-film air-mass sensorMEMS
  • 【分类号】TP212
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