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基于MEMS工艺的声表面波化学毒剂传感器

SAW sensors sensitive to chemical toxic based on MEMS

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【Author】 SHI Yun-bo~(1,2), ZHONG Hong-quan~(1,2), DONG Xin-ping~(1,2), GUO Jian-ying~1(1.Coll of Meas-Cont Tech and Comm Engin,Harbin University of Science and Technology,Harbin 150080,China;2.The 49th Research Institute,China Electronics Technology Group Corporation,Harbin 150001,China)

【机构】哈尔滨理工大学测试技术与通讯工程学院；哈尔滨理工大学测试技术与通讯工程学院黑龙江哈尔滨150080；中国电子科技集团公司第四十九研究所；黑龙江哈尔滨150001；黑龙江哈尔滨150080；

【摘要】阐述了声表面波(SAW)传感器的结构与工作原理;介绍了采用MEMS技术加工传感器芯片和敏感膜固定化的关键工艺;给出并分析了传感器的主要特性。试验和测试结果表明:传感器具有灵敏度高、响应速度快、抗汽油干扰等特点。更多还原

【Abstract】 The framework and principle of the SAW sensors are expatiated.The key technics in the solidification of sensitive films and processing sensors chips using MEMS technology are introduced.The main characteristics of the SAW sensor are given and analyzed.Experiment and test results show that the sensitivity of the sensors is higher,the response time and the restoration time are less,resistance to interference of petrol is better and so on.更多还原

【关键词】化学毒剂；声表面波；传感器芯片；敏感膜固定化；
【Key words】 chemical toxic； SAW(surface acoustic wave)； sensor chip； sensitive film solidification；

【基金】国家自然科学基金资助项目(60272002);黑龙江省科技攻关项目(GCO3A121)

【文献出处】传感器技术 ,Journal of Transducer Technology , 编辑部邮箱 ,2005年09期

【分类号】TP212.2
【被引频次】12
【下载频次】241

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