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基于生物刻蚀原理制作微小齿轮结构

MICRO GEAR STRUCTURE FABRICATED BASED ON PRINCIPLE OF BIOLOGICAL ETCH

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【Author】 LIU Yu-de~1,WANG Xi-bin~2,\ JIANG Fang~2,\ LONG Zhen-hai~2,\ ZHOU Yao-hua~2(1.College of Mechanical Engineering and Automation,Beijing Technology and Business University,Beijing 100037,China;2.School of Mechanic and Vehicle Engineering,Beijing Institute of Technology,Beijing 100081,China)

【机构】北京工商大学机械自动化学院；北京理工大学机械与车辆工程学院；北京理工大学机械与车辆工程学院北京100037；北京100081；北京100081；

【摘要】生物刻蚀是从生物学的角度研究加工制造的方法.采用氧化亚铁硫杆菌作为生物氧化剂,刻蚀铜及铜合金材料的基片表面,获得微小齿轮结构,并对细菌的生长环境进行了分析研究.更多还原

【Abstract】 Biologic etch is a new method of studying machining and manufacture from the point of view of biology.The method choose the thiobacillus ferrooxidans as biologic oxidant to etch the surface of the copper or copper alloys substrates to obtain the micro gear structure.Its advantages and disadvantages are also summarized.更多还原

【关键词】光刻；氧化亚铁硫杆菌；生物刻蚀；
【Key words】 biologic etch； thiobacillus ferrooxidans； lithography；

【基金】兵器预研支撑基金资助(BZJ050702)

【文献出处】北京工商大学学报(自然科学版) ,Journal of Beijing Technology and Business University (Natural Science Edition) , 编辑部邮箱 ,2005年05期

【分类号】TN305.7;
【被引频次】6
【下载频次】206

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