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EIS型半导体生化传感器EI界面势的理论模拟
Simulation of EI-Interface Voltage in an EIS-Type Semiconductor Biochemical Sensor
【摘要】 建立了较完整的适用于EIS(electrolyte insulator semiconductor)型生化传感器的EI界面势理论模型,在此基础上开发了EI界面的计算机辅助分析程序,对EI界面中双电层电势分布、带电格点密度、EI界面势进行了深入的定量分析,最后将EI界面势模拟结果与ISFET(ion sensitive field effect transistor)的实测结果进行了比较,进一步验证了文中的理论模型.
【Abstract】 An EI(electrolyte insulator)-interface voltage model suitable for EIS(electrolyte insulator semiconductor) sensor is proposed.Based on this model a CAA program is developed.Using this program,the voltage distribution of the double layer,density of electriferous sites,and EI-interface voltage are quantificationally analyzed.Finally,to certify this model,the contrast of the simulated results with the experiment data of ISFET(ion sensitive field effect transistor) is given.
【关键词】 半导体生化传感器;
EI界面势模型;
计算机辅助分析;
【Key words】 semiconductor biochemical sensor; EI interface voltage model; CAA;
【Key words】 semiconductor biochemical sensor; EI interface voltage model; CAA;
【基金】 国家自然科学基金资助项目(批准号:60176028)~~
- 【文献出处】 半导体学报 ,Chinese Journal of Semiconductors , 编辑部邮箱 ,2005年11期
- 【分类号】TP212.2
- 【被引频次】6
- 【下载频次】147