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TiO₂薄膜紫外探测器的光电特性

Photocurrent Characteristics of Ultraviolet Photoconductive Detectors with TiO₂ Film

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【作者】甘勇；刘彩霞；张爽；薛海林；董玮；张歆东；邹博；吴凤清；徐宝琨；陈维友；

【Author】 Gan Yong 1,Liu Caixia 1,Zhang Shuang 1,Xue Hailin 1,Dong Wei 1,Zhang Xindong 1, Zou Bo 2,Wu Fengqing 2,Xu Baokun 1,and Chen Weiyou 1(1 State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics,Jilin University,Changchun 130023,China) (2 College of Chemistry,Jilin University,Changchun 130023,China)

【机构】吉林大学集成光电子国家重点联合实验室；吉林大学化学学院；吉林大学集成光电子国家重点联合实验室长春130023；长春130023；长春130023；

【摘要】采用溶胶凝胶法(Sol Gel),在Si衬底上生长了TiO2纳米薄膜,并用此材料制备了光电导型的TiO2薄膜紫外光探测器.通过测量探测器的光电流与照射光波长的关系,可以看出,TiO2探测器在紫外波段230～280nm有很明显的光响应,光电流谱线近乎平坦;在280nm处光响应出现明显下降,且跨度较大,直至360nm又再次趋于平坦.测量了250nm波长处的响应度和外加偏压的关系,发现响应度随外加偏压的增加而增加,5V时达到饱和.更多还原

【Abstract】 The photocurrent characteristics of the photo conductive ultraviolet detector based on TiO₂ film grown on Si substrate by Sol-Gel are investigated.The spectral responsivity remains nearly constant for wavelength from 230 to 280nm and drops by one order of magnitude in 360nm.We also obtain the voltage-dependent responsivity.更多还原