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一种快速响应双稳态热执行器的结构设计

Structure Design of a Quick Respond Bistable Thermal Actuator

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【作者】 姜政; 丁桂甫; 张东梅;

【Author】 JIANG Zheng,DING Gui-fu,ZHANG Dong-mei(Micro/Nano Sci&Tec Research Institute of Shanghai Jiaotong University,Shanghai 200030,China)

【机构】 上海交通大学微纳米科学技术研究院; 上海交通大学微纳米科学技术研究院 上海200030; 上海200030; 上海200030;

【摘要】 利用ANSYS有限元分析软件并结合工艺条件,就其中的热执行按照快速响应的特点,对各结构参数与热执行器部件的驱动力、驱动位移、电阻、响应时间等驱动性能的影响进行了分析与仿真,从而得到了优化结构设计。此设计所要达到的目标是,热执行器驱动电压为5V,响应时间为2ms,末端最大位移为3.16×10-4m,末端位移20μm时的驱动力为4.94×10-3N。

【Abstract】 To design the quick responding structure,the relationship between the structure parameters and the thermal actuator capability were simulated and analyzed.The optimize structure was obtained.It exhibits that drive voltage is 5 V,the respond time is 2 ms,the maximum end displacement is 3.16×10-4 m,and the drive force is 4.94×10-3 N when the end displacement is 20 μm.

【关键词】 热执行器; 响应; 微机电系统; 结构设计;
【Key words】 thermal actuator; respond; MEMS; structure design;
【基金】 国家高技术研究发展计划(863)项目(2003AA404140);国家自然科学基金资助项目(10377009)
  • 【文献出处】 微纳电子技术 ,Micronanoelectronic Technology , 编辑部邮箱 ,2005年10期
  • 【分类号】TH703;
  • 【被引频次】3
  • 【下载频次】163
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