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微机电系统的研究与应用

Study and Application of MEMS

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【作者】 李素云； 马修水； 程蒲； 李光；

【Author】 Li Su-yun, Ma Xiu-shui, Li Guang

【机构】 安徽大学电子科学与技术学院； 安徽大学电子科学与技术学院 安徽 合肥 230039； 安徽 合肥 230039； 安徽 合肥 230039；

【摘要】 主要介绍了微机电系统的发展、设计与传统的加工工艺,并对MEMS的应用及发展前景作了简要概述。

【Abstract】 The paper presents in detail the development, design and conventional processing of MEMS. The application and developing trend are also clarified.

【关键词】 微机电系统； 微传感器； 微执行器；
【Key words】 MEMS System； mirco-sensori mirco actor；
  • 【文献出处】 安徽电子信息职业技术学院学报 ,Journal of Anhui Vocational College of Electrontcs & Information Technology , 编辑部邮箱 ,2005年03期
  • 【分类号】TH703
  • 【被引频次】1
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