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国产溅射离子泵主要性能测试及现状

Testing for basic performance of domestic SIPs and their conditions

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【Author】 ZHAO Fei-yun~1, YIN Li-xin~2, YIN Ming~1, ZHOU Hong-jun~1, WANG Yong~1, WANG Qiu-ping~1 (1.NSRL,University of Science and Technology of China, Hefei 230029,China;2.Shanghai National Synchrotron Radiation Center, Shanghai 201800,China)

【机构】中国科学技术大学国家同步辐射实验室；国家上海同步辐射中心(筹)；中国科学技术大学国家同步辐射实验室安徽　合肥　230029；上海　201800；安徽　合肥　230029；安徽　合肥　230029；

【摘要】在相同的条件下使用同一套测试装置,按照国家机械行业标准JB/T2965—92的要求,对国内几个主要溅射离子泵生产厂家提供的商用溅射离子泵进行性能测试,列出并分析测试结果,使大家对国产溅射离子泵目前的状况有所认识,同时期待国内真空泵厂能够与时俱进,进一步改进和提高溅射离子泵性能以满足国内科技发展的需要。更多还原

【Abstract】 Using the same experimental setup under the same condition and according to the national measurement standard JB/T2965—92, the basic performance parameters of domestic SIPs are tested, with relevant conclusions drawn and analysed.更多还原

【关键词】溅射离子泵；性能测试；
【Key words】 sputter ion pump(SIP)； performance testing；

【文献出处】真空 ,Vacuum , 编辑部邮箱 ,2004年06期

【分类号】TB752.52
【被引频次】10
【下载频次】377

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