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一维纳米材料的ECR-CVD方法制备

Preparation of one-dimensional nanomaterials by ECR-CVD

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【Author】 WANG Zhi~(1,2), BA De-chun~1, LIN Zeng~1, CAO Pei-jiang~3 (1.Vaccum and Fluid Engineering Research Center, Northeastern University, Shenyang 110004,China; 2.ShenYang Institute of Aeronautical Engineering, Shenyang 110034,China; 3.Institute of Physics, (Chinese) Academy of Science, Beijing 100083, China)

【机构】东北大学真空与流体工程研究中心；中国科学院物理研究所辽宁沈阳110004沈阳航空工业学院；辽宁沈阳110034；辽宁沈阳110004；北京100080；

【摘要】应用电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积方法 (ECR- CVD)进行了一维纳米材料的制备。以Fe3O4 纳米粒子为催化剂 ,采用不同的气源 ,在多孔硅基底上制备出了碳纳米管、掺硼碳纳米管以及异质结构的纳米管。利用扫描电子显微镜 (SEM)、透射电子显微镜 (TEM)和 X射线光电子谱 (XPS)对样品的形貌、结构及组分进行表征更多还原

【Abstract】 The one-dimensional nanomaterials, such as carbon nanotubes (CNTs), boron-blended CNTs and hetrojunction-structure nanotubes were preparod on porous silicon substrats by electron cyclotron resonance-chemical vapor deposition (ECR-CVD) process with different gas sources used, taking Fe 3O 4 nanoparticle as catalyst. Scanning electron microscopy (SEM), transmission electron microscopy (TEM) and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) were used to analyze their morphologies, structures and compositions.更多还原

【关键词】 ECR-CVD；一维纳米材料；纳米管；
【Key words】 ECR-CVD； one-dimensional nanomaterials； nanotube；

【文献出处】真空 ,Vacuum , 编辑部邮箱 ,2004年04期

【分类号】TB383
【被引频次】4
【下载频次】243

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