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正压漏孔校准装置的研制

Development of Pressure Leak Calibration System

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【作者】 王金锁许红胡央丽唐景远

【Author】 Wang Jinsuo1,Xu Hong2,Hu Yangli2 and Tang Jingyuan2 (1.Shanghai Jiaotong University,Shanghai1,200030,China; 2.Shanghai Institute of Measurement and Testing Technology,Shanghai,200040,Chin a)

【机构】 上海交通大学上海市计量测试技术研究院上海市计量测试技术研究院 上海200030工程师上海200040上海200040

【摘要】 作者对正压漏孔校准方法作了研究 ,为了对不同示漏气体的正压漏孔进行精确校准 ,建立了一套改进型的PΔV/t漏孔校准装置 ,并对该装置进行了不确定度的分析。该装置校准范围 1× 10 -4Pam3 /s~ 1× 10 -7Pam3 /s ,在漏率 2× 10 -6Pam3 /s时系统总误差小于 4 0 %。

【Abstract】 A novel technique has been successfully developed to accurately calibrate pressu re leak detectors independent of its filling gases.The uncertainty of the home-b uilt calibration instrument,the improvedPΔV/t system,was analyzed.The calib ration leak rate ranges from 1×10 -4 Pa m3/s to 1×10 -7 Pa m3/s. The overall systematic errors are below 4.0% at the rate of 2×10 -6 Pa m 3/s.

【关键词】 正压漏孔系统总误差漏率
【Key words】 Pressure leakOverall systematic errorsLeak rate
  • 【文献出处】 真空科学与技术学报 ,Chinese Journal of Vacuum Science and Technology , 编辑部邮箱 ,2004年06期
  • 【分类号】TB774
  • 【被引频次】9
  • 【下载频次】92
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