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测量Fabry-Perot标准具平面度的一种新方法

New Method of Measuring flatness of F-P Etalon

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【Author】 Zhai Chao1 Shin-ichi Itoh2 ~ 1(Department of Precision Machine and Precision Instrument,USTC,Hefei 230026,China) ~ 2(Faculty of Engineering,Tokyo Institute of Polytechnics,Iiyama,Atsugi,Tokyo,243—0297,Japan)

【机构】中国科技大学精密机械与精密仪器系；东京工艺大学工学部合肥230026；东京243—0297；

【摘要】介绍了一种测量Fabry-Perot标准具平面度的新方法。通过测量F-P干涉环的直径计算出Fabry-Perot标准具的平面度,测量的不确定度可达λ/1800。更多还原

【Abstract】 A new method is proposed to measure the flatness of F-P etalon by measuring the diameter of the F-P interference ring.Its precision is as high as λ/1800.更多还原

【关键词】 Fabry-Perot；平面度；
【Key words】 Fabry-Perot Flatness；

【文献出处】仪器仪表学报 ,Chinese Journal of Scientific Instrument , 编辑部邮箱 ,2004年S1期

【分类号】TG831
【被引频次】1
【下载频次】78

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