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大气湿度对AFM针尖氧化加工金属Ti膜的影响

A Humidity Effect on AFM Induced Oxidation of Titanium Film

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【作者】 匡登峰； 刘庆纲； 郭维廉； 张世林； 胡小唐；

【Author】 KUANG Deng-feng~1, LIU Qing-gang~1, GUO Wei-lian~2, ZHANG Shi-lin~2, HU Xiao-tang~1University, Tianjin 300072,China;2. Dept. of Electronic Information Engineering, Tianjin University, Tianjin 300072,China)

【机构】 天津大学精密测试计量技术及仪器国家重点实验室； 天津大学电子信息工程学院； 天津大学精密测试计量技术及仪器国家重点实验室 天津300072； 天津300072； 天津300072； 天津300072；

【摘要】 AFM针尖诱导氧化加工的Ti纳米氧化线,是基于Ti膜-半导体纳米器件的基础,由大气湿度决定的Ti膜表面水吸附层的厚度,对控制阳极诱导氧化加工的结果起重要作用。通过大量实验研究了大气湿度对Ti氧化线高度、宽度和纵横比的影响,结果表明进行氧化加工Ti膜的较好湿度范围为30%～50%。

【Abstract】 Titanium nano oxidation wires obtained by AFM tip induced anodic oxidation are the basic structures in Ti-semiconductor nano devices. The amount of adsorbed water on the Ti film surface determined by ambient humidity plays a key role in controlling the oxidation results. Humidity effects on the heights, widths and ratios of Ti oxidized wires are researched extensively by many experiments. The proper humidity range of about 30%～50% for oxidizing Ti film is achieved to get better results.

【关键词】 AFM针尖诱导阳极氧化； Ti氧化线； 大气湿度；
【Key words】 AFM tip induced anodic oxidation； Ti oxidation wires； ambient humidity；
【基金】 教育部天津大学南开大学科技合作资助项目;天津市自然科学基金资助项目(013602111)
  • 【文献出处】 压电与声光 ,Piezoelectrics & Acoustooptics , 编辑部邮箱 ,2004年03期
  • 【分类号】TN304
  • 【被引频次】4
  • 【下载频次】52
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