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TiN膜的制备和进展

Development and Preparation of TiN Film

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【作者】 武咏琴； 李刘合； 张彦华； 胡亚伟； 刘佑铭； 蔡荀；

【机构】 北京航空航天大学； 上海交通大学； 上海交通大学 100083； 100083； 200240； 200240；

【摘要】 论述了TiN薄膜的常用制备方法,工艺参数对膜结构、性能等的影响,展望了TiN薄膜制备的进一步发展趋势。

【关键词】 TiN薄膜； 制备方法； 力学性能； 工艺参数；
【Key words】 TiN film； preparation methods； mechanical properties； processing parameters；
【基金】 国家自然科学基金(50271004)
  • 【文献出处】 新技术新工艺 ,New Technology & New Process , 编辑部邮箱 ,2004年12期
  • 【分类号】TB43
  • 【被引频次】22
  • 【下载频次】501
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