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微波等离子加热实现金属薄膜固相反应

Solid State Reaction of Metal Film by Microwave Plasma Heating

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【作者】 欧阳斯可； 汪涛； 戴永兵； 沈荷生； 吴建生； 何贤昶；

【机构】 上海交通大学微纳米科学技术研究院； 上海交通大学材料科学与工程系； 上海交通大学材料科学与工程系 (200030)； (200030)； (200030)；

【摘要】 采用微波等离子体加热方法对金属薄膜进行热处理 ,理论计算表明 ,微波可以透过纳米尺度的金属薄膜传播 ,从而可以使微波加热方式应用于金属薄膜的固相反应。

【关键词】 快速热处理； 微波加热； 微波等离子体； 金属薄膜； 固相反应；
【Key words】 RTP； microwave heating； microwave plasma； metal film； solid state reaction；
【基金】 国家自然科学基金资助 (5 0 130 30 )
  • 【文献出处】 新技术新工艺 ,New Technology & New Process , 编辑部邮箱 ,2004年06期
  • 【分类号】TG156.9
  • 【被引频次】1
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