【作者】 许大光; 耿志明; 郑勤; 李华勇;
【机构】 江苏省农业科学院综合测试中心; 江苏省农业科学院综合测试中心 南京210014; 南京210014; 南京210014;
【摘要】 本文简述日立H 6 0 0电镜真空系统工作原理 ,较详细地介绍真空系统故障现象及其检修过程更多还原